高纯气体的定义与分类
高纯气体是指纯度极高(通常≥99.999%)、杂质含量极低的气体,根据应用需求可分为:
- 电子级气体(如高纯氮气、氩气、氢气):用于半导体芯片制造、液晶面板生产等。
- 医疗级气体(如高纯氧气、二氧化碳):用于呼吸治疗、麻醉、细胞培养等。
- 分析级气体(如高纯氦气、氩气):用于气相色谱、质谱等精密仪器。
- 特种气体(如硅烷、六氟化硫):用于光伏、电力绝缘等特殊领域。
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